ULVAC愛發(fā)科用于FPD半導(dǎo)體電子部件等各種制造設(shè)備皮拉尼真空計SW1-N1

更新時間：2025-06-04

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皮拉尼真空計Model:SW1-1(日本產(chǎn)) / SW1-N1(中國產(chǎn))

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皮拉尼真空計，可以測量從大氣壓到5×10-2Pa的廣泛的壓力范圍
該真空計從傳統(tǒng)的控制器（傳感器單元）中除去操作·顯示部，最大限度凝縮精簡功能，使「降成本」和「省空間」成為可能。

特點

測量范圍：可以進行從大氣壓到5×10-2 Pa
抗沖擊性提高：具有高抗沖擊性的結(jié)構(gòu)設(shè)計（正在申請）
優(yōu)異的大氣壓精度：無論真空計的安裝位置如何，精度均在±20％以內(nèi)（日本第4878289號）
燈絲材料·鉑（Pt）：由高度耐腐蝕的鉑制成的燈絲
可視化程度提高：配備可確認異常的LED
一觸式調(diào)整：一鍵式即可進行大氣壓力調(diào)整和零點調(diào)整
維護：更換測定子更輕松
適用測定子擴展：除了NW16 / 25規(guī)格外，還將Φ15/ 18規(guī)格，拼接法蘭規(guī)格和錐形螺絲R1 / 8規(guī)格添加到產(chǎn)品陣容中

用途

太陽能電池?FPD?半導(dǎo)體?電子部件等各種制造設(shè)備
用于設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于有振動?沖擊的各種真空排氣系統(tǒng)

規(guī)格

Model	SW1-1	SW1-2
Connectable sensor head	1 pc
Compatible sensor head	SWP-16（NW16）, SWP-25（NW25), SWP-R1/8（R1/8）, SWP-P18（φ18）, SWP-P15（φ15）, SWP-CF16（ICF034）, SWP-1S（ASME BPE sanitary 1"）
Measurable pressure range	5.0×10^-2 ~ 1.0×10⁺⁵ Pa（Pa（表示範囲：1.0×10^-2 ~ 1.2×10⁺⁵Pa）
Accuracy*	1×10^-1 Pa ~ 1×10⁺⁴ Pa ： ±10%
	5.0×10^-2 ~ 1.0×10^-1 Pa, 1×10⁺⁴ Pa ~ 1×10⁺⁵ Pa : ±20%
Repeatability	1×10^-1 Pa ~ 1×10⁺⁴ Pa : ±2%
Sampling time	50ms 5回の移動平均処理
Value output	Output voltage DC 0 to 10V
	Pressure indication (Log) 1.7V to 8.0V 1V/decade
	(Update time) 50ms
Control input signal	Open collector input, Negative logic	-
	ADJ Adjustment (ZERO point, atmosphere adjust)	-
Control output signal	Open collector output, negative logic [rating: 30VMAX, 50mAMAX, 70mW]	-
	Error signal	-
	Set point 1, 2	-
Monitor for setpoint	Set point 1, 2: 0 to 10V Log output	-
Serial communication type	-	RS232C/RS485
LED display	POWER/ERROR: Power error LED
	SET-1: Set point 1LED	-
	SET-2: Set point 2LED	-
Materal of filament	Pt
Operating temperature range	10 ~ 40℃
Operating humidity range	15 ~ 80% (Not condensing)
IP rating	IP30 (Sensor unit)
Fixing position	Free
Power supply voltage	DC18V ~ 30V, 2W (4.8W w/power input)
Input/output connector	D-sub 15-pin (M2.6mm screw) - side sensor unit
Weight	150g (with SWP-16)
Dimension (Power supply) W×D×H	70mm×46mm×28mm
Standard accessories	Quick manual
Option	Input/output conector (D-sub 15-socket (M2.6mm screw)), Inspection result data sheet, General calibration test report, JCSS caribration certificate
Applicable standard	CE